Az SF6 vagy kén-hexafluorid a száraz maratáshoz általánosan használt gáz, amelyet főként szilícium maratáshoz használnak a félvezetőgyártási folyamatban. Az SF6 gáz oktaéderes szerkezetű, egy központi kénatomból áll, amelyet hat fluoratom vesz körül. Nem poláris tulajdonságai miatt szigetelő gáz a nagyfeszültségű elektromos berendezésekben. Az SF6 fizikai tulajdonságai közé tartozik a színtelen, szagtalan, nem gyúlékony, nem mérgező, szigetelő, a levegőnél nehezebb, a hűtőkapacitás, a nagy dielektromos szilárdság, a termikus stabilitás és a vízben való rossz oldhatóság, de oldódik a nem poláris szerves oldószerekben.
A kémiai tulajdonságok szempontjából az SF6 szobahőmérsékleten alig reagál más anyagokkal, de erős ultraibolya fényben bomlik.
Az SF6 -ot általában az ipar termeli, és a természetben tartalma nagyon kicsi. Az SF6 -termelés reakcióegyenlete:
2 CoF3 + SF4 + [Br₂] → SF₆ + 2 CoF₂ + [Br₂]
Amikor az SF₄, a COF₃ és a BR₂ összekeverik és 100 fokos hőmérsékleten melegítik, akkor reakció következik be közöttük. Ebben a reakcióban az SF₄ és a COF₃ egy része reagál az SF₆ és a COF₂ előállítására. A brómot nem fogyasztják a reakcióban, csak katalizátorként működik.
Veszélyes az SF6?
Bár az SF6 tiszta állapotában nem mérgező, kiszorítja az oxigént a levegőből, és a levegő 19%-nál nagyobb térfogati koncentrációja fulladást okoz. Ezért nagyon fontos az SF6 szivárgásának időben történő észlelése és a megfelelő megelőző intézkedések megtétele a félvezető gyártási folyamatban.
SF6 használata a félvezető iparban
Az SF6-ot széles körben használják a félvezetőgyártásban. A szilícium maratási folyamatában az SF6-ot használják fő maratógázként, és a keletkező SF4 és C4F8 illékony gázokkal együtt mély szilíciummaratást ér el. Ezenkívül az SF6-ot gyakran használják Mo- és W-fémek száraz maratására, ezekkel a fémekkel reagálva illékony MoF6 és WF6 hexafluoridokat hoznak létre. Bár az SF6 nem az előnyben részesített gáz alumínium maratásához, használható segédgázként az alumínium maratási sebességének növelésére, ha gázokkal, például Cl2-vel keverik.
Szilikon Rézkarc
A szilíciummaratási lépésben csak az alján lévő szilíciumot, ahol a passzivációs filmet eltávolították, maratják. SF6 gázt vezetnek be, és az SF6 elkülönül a plazmában, hogy különféle bomlási termékeket generáljon, beleértve a nagyon aktív fluoratomokat (F).
SF6-->SF4+F2-->SF2+2F2-->F+...
A keletkezett fluoratomok reakcióba lépnek a szilícium felületével, és szilícium-tetrafluoridot (SiF4) hoznak létre, amely egy illékony vegyület, amely könnyen kiürül a kamrából.
Si+4F-->SiF4
Alsó passzivációs réteg maratása
Ebben a szakaszban passzivációs réteg képződik mind az oldalfalon, mind az alsó részen. Csak azt akarjuk, hogy az oldalfalon csak a passzivációs réteget kell tartani, hogy megvédjük az oldalfalat a maratástól, de le kell távolítanunk az alján lévő passzivációs réteget, hogy lefelé marathassunk. Ezért az SF6 gázt ebben az időben vezetik be, hogy megtámadják a passzivációs réteget az alján. Miután az alsó passzivációs réteg eltűnik, az SF6 továbbra is a szilíciumot maratja, és a ciklus megismétlődik, mint egy végtelen hurok.
Egyablakos Sf6 kén-hexafluorid gyár Kínában
Küldje el nekünk a kén hexafluorid SF6 -gáz kérdésével kapcsolatos kérdését!
Kiváló minőségű SF6 gázt és szolgáltatásokat biztosítunk az Ön beszerzési igényeinek kielégítésére.
Kérdés küldése most
