Mire használható az FFKM a félvezetőkben?

Az FFKM egy nagy teljesítményű tömítőanyag. Kiváló teljesítménye lehetővé tette, hogy alkalmazása behatoljon a félvezető termékek teljes gyártási rendszerébe. Ezek közül az FFKM tömítőgyűrűk az integrált áramkörök gyártásához szükséges egyik fő fogyóeszköz.

Az FFKM-et tetrafluor-etilén (TFE), perfluor-alkil-vinil-éter (PAVE) mint fő monomer, és kis mennyiségű keményedési pont monomer (CSM) kopolimerizálja. Amint az alábbi ábrán látható, a polimer összes szénatomja A gumi hidrogénatomjait mind fluoratomok helyettesítik, így a gumi egyáltalán nem tartalmaz CH-kötéseket.

Az FFKM főbb teljesítményjellemzői:

1) Fizikai tulajdonságok

Az FFKM sűrűsége 1.9-2.0g/cm³. Normál hőmérsékletű mechanikai tulajdonságai közel állnak a vinilidén-fluorid (VDF) alapú fluorgumi (FKM) tulajdonságaihoz, de magas hőmérsékletű mechanikai tulajdonságai jobbak, mint a fluorguméé.

2) Vegyi ellenállás

Az FFKM molekulaláncában nincsenek hidrogénatomok, és a CC kötéseket alapvetően F atomokból álló héj veszi körül, amely erős kémiai tehetetlenséget mutat, és jelentősen ellenállóvá teszi a polimert a vegyszerekkel szemben.

3) Magas és alacsony hőmérsékleti ellenállás

Az FFKM működési hőmérséklete általában 260-290 fok, és szakaszosan használható 316 fokos magas hőmérsékleten. Mivel nagyszámú -OCF3 csoport kerül be a molekulák elágazó láncaiba, javul a molekulák rugalmassága és javul a gumi alacsony hőmérséklettel szembeni ellenállása.

4) Plazma ellenállás

Plazmakörnyezetben nagy tisztaságú és alacsony csapadéktartalmú termékjellemzőkkel rendelkezik, és hosszú ideig ellenáll a plazmabombázásnak.

A félvezetőgyártásban az elasztomer tömítések megbízhatósága kritikus fontosságú, mivel a tömítések cseréje miatti gyártásleállások rendkívül költségesek. A lehetséges kockázatok elkerülése érdekében a tömítések tisztaságára és tisztaságára vonatkozó követelmények nagyon szigorúak. Ugyanakkor a tömítéseknek hosszú ideig kell működniük magas hőmérsékletű, nagy vákuum és korrozív vegyi gázok nyomású környezetben.

A félvezető alkalmazások tekintetében az FFKM elsősorban a következőkre összpontosít:

1) Gázzár: A félvezető gyártási folyamatban a különféle gázok feldolgozása és szállítása elengedhetetlen. Az FFKM O-gyűrűt gázvezetékek, szelepek és csatlakozások tömítésére használják, hogy biztosítsák a gáz szivárgását és a folyamat stabilitását.

2) Maratás és tisztítás: A félvezető eljárások maratási és tisztítási lépései gyakran tartalmaznak korrozív közegeket, például erős savakat vagy lúgokat. Az FFKM O gyűrűt széles körben használják az ezekkel a közegekkel érintkező berendezésekben, például maratókamrákban, tisztítótartályokban stb., kiváló korrózióállóságuk miatt.

3) Folyadékok és vegyszerek szállítása: A félvezetőgyártás során különféle folyadékokat és vegyi anyagokat kell szállítani, például oldatokat, oldószereket, tisztítófolyadékokat stb. Az FFKM O gyűrűvel olyan berendezéseket lehet tömíteni, mint a csövek, szelepek és szivattyúk. a média biztonságos szállítása.

4) Magas hőmérsékletű környezet: A félvezető folyamat bizonyos lépéseit magas hőmérsékletű környezetben kell végrehajtani, például hőkezelést, izzítást stb. Az FFKM O-gyűrűk kiválóan ellenállnak a magas hőmérsékletnek, és képesek megőrizni rugalmasságukat és tömítettségüket tulajdonságai magas hőmérsékleten.

5) Ultratiszta vízkezelés: A félvezetőgyártásban ultratiszta vizet használnak a berendezések és anyagok tisztítására és tisztítására. Az FFKM O-gyűrűket széles körben használják az ultratiszta vízkezelő berendezések tömítésére, hogy megakadályozzák a szennyeződések és szennyeződések bejutását.

Az FFKM gumi alapanyagok magas költsége miatt az FFKM tömítések általában használatos munkakörülményei rendkívül kemények. Ilyen kemény munkakörülmények között más gumik hajlamosak a korrózióra, duzzadásra, oldódásra, öregedésre és megkeményedésre stb., ami a tömítés meghibásodását eredményezi, és ezért nem felel meg a tömítési követelményeknek. Kiváló korrózióállóságának és magas hőmérsékleti ellenállásának köszönhetően az FFKM gumi nem csak a kemény munkakörülmények tömítési követelményeinek felel meg, hanem növeli a tömítések élettartamát és csökkenti az ügyfelek karbantartási költségeit.